MEMS: Perbedaan antara revisi
Konten dihapus Konten ditambahkan
Tidak ada ringkasan suntingan |
|||
Baris 5:
Contoh [[aktuator]] mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan [[motor]] ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "''Lab on Chip''". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai ''DNA chip''.
== Referensi ==
{{reflist}}
[[Kategori:Sensor]]
[[Kategori:Transduser]]
[[Kategori:Teknik elektro]]
| |||