Revisi per 7 Juni 2008 21.45 sunting Thijs!bot (bicara \| kontrib) 71.934 suntingan k bot Menambah: ru:Микроэлектромеханические системы ← Revisi sebelumnya		Revisi per 16 November 2008 20.58 sunting balikkan VolkovBot (bicara \| kontrib) 126.267 suntingan k bot Menambah: tr:Mikro elektro-mekanik sistemler Revisi selanjutnya →
Baris 20: [[sk:Micro-Electro-Mechanical Systems]] [[th:ไมโครเทคโนโลยี]] [[tr:Mikro elektro-mekanik sistemler]] [[vi:MEMS]] [[zh:微機電系統]]

MEMS: Perbedaan antara revisi