MEMS: Perbedaan antara revisi
Konten dihapus Konten ditambahkan
Tidak ada ringkasan suntingan |
k Bot: Perubahan kosmetika |
||
Baris 1:
{{periksaterjemahan|en|Microelectromechanical systems}}
'''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems'') adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] [[mikro]] dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu ([[IC]]). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.
[[Berkas:Bug 1c.jpg|thumb|[[Tungau]] dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMS]]
| |||