MEMS: Perbedaan antara revisi

1 bita dihapus ,  5 tahun yang lalu
k
Bot: Perubahan kosmetika
Tidak ada ringkasan suntingan
k (Bot: Perubahan kosmetika)
{{periksaterjemahan|en|Microelectromechanical systems}}
'''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems'') adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] [[mikro]] dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu ([[IC]]). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.
 
[[Berkas:Bug 1c.jpg|thumb|[[Tungau]] dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMS]]
1.110.660

suntingan