Nitrogen trifluorida

senyawa kimia

Nitrogen trifluorida adalah senyawa anorganik dengan rumus NF3. Senyawa nitrogen-fluor ini adalah gas tak berwarna, tak berbau, tidak mudah terbakar. Penggunaannya sebagai etchant dalam mikroelektronika ditemukan meningkat.

Nitrogen trifluorida
Nitrogen trifluorida
Nitrogen trifluorida
Nama
Nama IUPAC
Nitrogen trifluoride
Nama lain
Nitrogen fluorida
Trifluoramina
Trifluoramonia
Penanda
Model 3D (JSmol)
3DMet {{{3DMet}}}
ChEBI
ChemSpider
Nomor EC
Referensi Gmelin 1551
Nomor RTECS {{{value}}}
Nomor UN 2451
  • InChI=1S/F3N/c1-4(2)3 YaY
    Key: GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N YaY
  • InChI=1/F3N/c1-4(2)3
    Key: GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYAA
  • FN(F)F
Sifat
NF3
Massa molar 71,00 g/mol
Penampilan Gas tak berwarna
Bau berjamur
Densitas 3,003 kg/m3 (1 atm, 15 °C)
1.885 g/cm3 (cair pada b.p.)
Titik lebur −207,15 C
Titik didih −129,06 °C
0,021 g/100 mL
Tekanan uap >1 atm (20 °C)[1]
Indeks bias (nD) 1,0004
Struktur
piramidal trigonal
0,234 D
Termokimia
Kapasitas kalor (C) 53,26 J/(mol·K)
Entropi molar standar (So) 260,3 J/(mol·K)
Entalpi pembentukan standarfHo) −31,4 kJ/mol[2]
−109 kJ/mol[3]
Energi bebas GibbsfG) −84,4 kJ/mol
Bahaya
Lembar data keselamatan AirLiquide
Titik nyala Tidak mudah terbakar
Dosis atau konsentrasi letal (LD, LC):
2000 ppm (mencit, 4 hr)
9600 ppm (anjing, 1 hr)
7500 ppm (monyet, 1 hr)
6700 ppm (tikus, 1 hr)
7500 ppm (mencit, 1 hr)[4]
Batas imbas kesehatan AS (NIOSH):
PEL (yang diperbolehkan)
TWA 10 ppm (29 mg/m3)[1]
REL (yang direkomendasikan)
TWA 10 ppm (29 mg/m3)[1]
IDLH (langsung berbahaya)
1000 ppm[1]
Senyawa terkait
Anion lain
nitrogen triklorida
nitrogen tribromida
nitrogen triiodida
amonia
Kation lainnya
fosfor triklorida
arsenik triklorida
antimon triklorida
bismut triklorida
Kecuali dinyatakan lain, data di atas berlaku pada suhu dan tekanan standar (25 °C [77 °F], 100 kPa).
YaY verifikasi (apa ini YaYN ?)
Referensi

Referensi sunting

  1. ^ a b c d "NIOSH Pocket Guide to Chemical Hazards #0455". National Institute for Occupational Safety and Health (NIOSH). 
  2. ^ Sinke, G. C. (1967). "The enthalpy of dissociation of nitrogen trifluoride". J. Phys. Chem. 71 (2): 359–360. doi:10.1021/j100861a022. 
  3. ^ Inorganic Chemistry, hlm. 462, di Google Books
  4. ^ "Nitrogen trifluoride". Immediately Dangerous to Life and Health. National Institute for Occupational Safety and Health (NIOSH). 

Pranala luar sunting