Revisi per 9 April 2012 12.31 sunting Luckas-bot (bicara \| kontrib) Bot 192.061 suntingan k r2.7.1) (bot Menambah: kk:Микроэлектромеханикалық жүйелер ← Revisi sebelumnya		Revisi per 14 Mei 2012 05.26 sunting balikkan Minsbot (bicara \| kontrib) Bot 1.265 suntingan k r2.7.2) (bot Mengubah: no:Mikroelektromekaniske systemer Revisi selanjutnya →
Baris 23: [[ko:MEMS]] [[nl:Micro-elektromechanisch systeem]] [[no:Mikroelektromekaniske systemer]] ~~[[no:MEMS]]~~ [[pl:Micro Electro-Mechanical Systems]] [[ru:Микроэлектромеханические системы]]

MEMS: Perbedaan antara revisi