Revisi per 11 Desember 2008 10.27 sunting VolkovBot (bicara \| kontrib) 126.267 suntingan k bot Menambah: no:MEMS ← Revisi sebelumnya		Revisi per 18 Desember 2008 11.16 sunting balikkan ArthurBot (bicara \| kontrib) Bot 80.710 suntingan k bot Mengubah: de:Mikrosystem (Technik) Revisi selanjutnya →
Baris 8: [[cs:MEMS]] [[da:MEMS]] [[de:Mikrosystem (Technik)]] ~~[[de:Micro-Electro-Mechanical System]]~~ [[en:Microelectromechanical systems]] [[es:Sistemas microelectromecánicos]]

MEMS: Perbedaan antara revisi