Revisi per 16 November 2008 20.58 sunting VolkovBot (bicara \| kontrib) 126.267 suntingan k bot Menambah: tr:Mikro elektro-mekanik sistemler ← Revisi sebelumnya		Revisi per 28 November 2008 08.05 sunting balikkan Ptbotgourou (bicara \| kontrib) Bot 15.568 suntingan k bot Menambah: ar:نظم كهروميكانيكية صغرى Revisi selanjutnya →
Baris 5: [[Kategori:Teknik elektro]] [[ar:نظم كهروميكانيكية صغرى]] [[cs:MEMS]] [[da:MEMS]]

MEMS: Perbedaan antara revisi