Wikipedia

Berkas:Locos (microtechnology) process.svg

Ukuran asli ‎(Berkas SVG, secara nominal 512 × 796 piksel, besar berkas: 27 KB)

Berkas ini berasal dari Wikimedia Commons dan mungkin digunakan oleh proyek-proyek lain. Deskripsi dari halaman deskripsinya ditunjukkan di bawah ini.

Ringkasan

Deskripsi
English: The image illustrates the LOCOS technology used in microfabrication mostly to create isolating structures.

I. Preparation of silicon substrate II. CVD deposition of SiO2, pad/buffer oxide III. CVD deposition of Si3N4, nitride mask IV. Etching of nitride layer and silicon oxide layer V. Thermal growth of silicon oxide VI. Furhter growth of thermal silicon oxide VII. Removal of nitride mask

1) Si, silicon substrate 2) SiO2, pad/buffer oxide, chemical vapor deposition silicon oxide 3) Si3N4, nitride mask

4) SiO2, isolation oxide, thermal oxide
Tanggal
Sumber Karya sendiri
Pembuat Twisp

Lisensi

Public domain Saya, pemegang hak cipta karya ini, merilis karya ini ke domain umum. Lisensi ini berlaku di seluruh dunia.
Di sejumlah negara, tindakan ini tidak memungkinkan secara sah; bila seperti itu:
Saya memberikan siapa pun hak untuk menggunakan karya ini untuk tujuan apa pun, tanpa persyaratan apa pun, kecuali yang ditetapkan oleh hukum.

Captions

Add a one-line explanation of what this file represents

Items portrayed in this file

menggambarkan

sejak

19 Januari 2008

Riwayat berkas

Klik pada tanggal/waktu untuk melihat berkas ini pada saat tersebut.

Tanggal/WaktuMiniaturDimensiPenggunaKomentar
terkini14 Desember 2009 19.02Miniatur versi sejak 14 Desember 2009 19.02512 × 796 (27 KB)Cepheidensome fixes
19 Januari 2008 16.53Miniatur versi sejak 19 Januari 2008 16.53625 × 1.000 (56 KB)Twisp{{Information |Description= {{en|The image illustrates the LOCOS technology used in microfabrication mostly to create isolating structures. I. Preparation of silicon substrate II. CVD deposition of SiO2, pad/buffer oxide III. CVD deposition of Si3N4, ni

Halaman berikut menggunakan berkas ini:

Penggunaan berkas global

Wiki lain berikut menggunakan berkas ini:

Diperoleh dari "https://id.wikipedia.org/wiki/Berkas:Locos_(microtechnology)_process.svg"